市面上最小的ALD,可放进手套箱,来自美国哈佛的原子层沉积系统兼容高温的快速脉冲 ALD 阀,具有超快 MFC,用于集成惰性气体吹扫。
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市面上最小的ALD,可放进手套箱,来自美国哈佛的原子层沉积系统兼容高温的快速脉冲 ALD 阀,具有超快 MFC,用于集成惰性气体吹扫。
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