产品型号：Pioneer240、Pioneer180、Pioneer120Pioneer系列PLD系统---基于经验的创新设计Neocera利用PLD开展了深入广泛的研究，建立了获得薄膜质量的临界参数，特别适用于沉积复杂氧化物薄膜

产品型号：NeoceraPioneer系列

更新时间：2024-11-18

厂商性质：经销商

访问量：289

产品咨询 17710506869

product

产品分类

tel-phone

18600717106

查看全部

article

产品型号：Pioneer240、Pioneer180、Pioneer120

Pioneer系列 PLD系统---基于经验的创新设计

Neocera利用PLD开展了深入广泛的研究，建立了获得薄膜质量的临界参数，特别适用于沉积复杂氧化物薄膜。这些思考已经应用于Pioneer系统的设计之中。

很多复杂氧化物薄膜在相对高的氧压（>100Torr）下冷却可获得更高的质量。所有Pioneer系统都具备此功能（压力范围可从额定初始压强到大气压）。这也有益于纳米粒子的生成。

Pioneer PLD系统的激光束入射角为45°，保持了激光密度在靶材上的均匀性，同时避免使用复杂而昂贵的光学部件。更大的入射角能够拉长靶材上的激光斑点，导致密度均匀性的损失。

为了避免使用昂贵的与氧气兼容的真空泵，消除油的回流对薄膜质量的影响，所有Pioneer系统的标准配置都采用无油泵系统。

我们的研究表明靶和基片的距离是获得薄膜质量的关键参数。Pioneer系统可以控制靶材和基片的距离，以达到的沉积条件。

返回列表

在线留言