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产品分类市面上最小的ALD,可放进手套箱,来自美国哈佛的原子层沉积系统$n兼容高温的快速脉冲 ALD 阀,具有超快 MFC,用于集成惰性气体吹扫。
PICOSUN R-200 标准型ALD系统,PICOSUN®R-200标准ALD系统适用于数十种应用的研发,例如IC组件、MEMS器件、显示器、LED、激光和3D对象,例如透镜、光学器件、珠宝、硬币和医疗植入物
PICOSUN®P-300BALD系统是专为生产MEMS设备(例如打印头,传感器和麦克风)以及各种3D物品(例如机械零件,玻璃或金属薄板,硬币,手表零件和珠宝,镜片,光学器件以及医疗设备和植入物