台式原子层沉积系统-可放入手套箱

产品简介
市面上最小的ALD，可放进手套箱，来自美国哈佛的原子层沉积系统
兼容高温的快速脉冲 ALD 阀，具有超快 MFC，用于集成惰性气体吹扫。

产品型号：AT 200M

更新时间：2025-09-25

厂商性质：经销商

访问量：1544

产品咨询 18600717106

产品分类

技术文章

详细介绍在线留言

型号：AT-200M（热原子层沉积系统）

一款市面上体积最小的原子层沉积系统ALD

一款适用于科研的经济型原子层沉积系统ALD

一款经济实惠的原子层沉积系统ALD

可做粉末的原子层沉积系统ALD

一款可以放入手套箱里的原子层沉积系统ALD

特别适合在高真空和水氧量极低环境下使用

技术参数：

·尺寸(L*W*H):35.5*38.1*56.8cm

·粉末涂层可选(容量可达~10cm^3)

·可放置2英寸x2英寸×3英寸或两个2英寸圆片的样品(可定制的卡盘和我们的粉末涂层选项)

·2个前驱体端口，4个可选端口 (带有高达150°℃的热追踪线，HT套件至180°C)

·可升级为空心阴极等离子体(可选)通风前驱体外壳

·耐高温的快速脉冲ALD阀门，配备超快MFC进行集成惰性气体吹扫-标配

·全不锈钢腔室，温度范围可达300°C

·静态反应模式下可实现高覆盖

·带集成PLC控制的5英寸显示屏

·包括终身软件升级

·1年保修

可选项：真空泵，4个端口，臭氧发生器(AT-03), 瓶加热器，QCM,远程PC控制， ALD前驱体，手套箱，HT套件(前驱体至 180℃),起泡器，粉末喷涂机，HC等离子体。

上一个：NeoDry15Gkashiyama NeoDry-15G 真空泵无油空压机

返回列表

下一个：脉冲电闪蒸反应器焦耳热

在线留言

产品简介
市面上最小的ALD，可放进手套箱，来自美国哈佛的原子层沉积系统
兼容高温的快速脉冲 ALD 阀，具有超快 MFC，用于集成惰性气体吹扫。

留言框

产品：

您的单位：

您的姓名：

联系电话：

常用邮箱：

省份：

详细地址：

补充说明：

验证码：

产品简介 市面上最小的ALD，可放进手套箱，来自美国哈佛的原子层沉积系统兼容高温的快速脉冲 ALD 阀，具有超快 MFC，用于集成惰性气体吹扫。

留言框

产品：

您的单位：

您的姓名：

联系电话：

常用邮箱：

省份：

详细地址：

补充说明：

验证码：

产品简介
市面上最小的ALD，可放进手套箱，来自美国哈佛的原子层沉积系统
兼容高温的快速脉冲 ALD 阀，具有超快 MFC，用于集成惰性气体吹扫。