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薄膜沉积系统

产品简介

PROLinePVD75薄膜沉积系统PROLinePVD75™是基于PVD75经典款开发的新一代薄膜沉积系统

产品型号：
更新时间：2024-11-18
厂商性质：经销商
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PRO Line PVD 75 薄膜沉积系统

PRO Line PVD 75™ 是基于PVD75经典款开发的新一代薄膜沉积系统。保有量超过400台，PVD75™经典款是历经实践验证的技术成熟、性能稳定、多功能设计的薄膜沉积系统。PRO Line PVD 75™ 在PVD75经典款基础上进一步提高系统的本底真空并缩短系统的抽空时间。对工艺腔室进行优化设计，工业化设计的控制系统具有的编程功能、基片自动加载功能。


 

┃ 设备应用


  • 专为大学、工业和政府国家实验室等研发领域设计开发的薄膜沉积系统

  • 可用于OLED/PLED和有机电子学

  • 光伏和半导体应用光学和装饰镀膜应用小批量生产


 

┃ 设备特点


  • 机柜及机架采用封闭式设计

  • 304方箱式不锈钢腔室，安装有铝门和大视角观察窗

  • 通过触摸屏手动或程序控制，全自动计算机控制

  • 可选择涡轮分子泵或高真空低温泵



┃ 工艺模块


  • 磁控溅射: 射频、直流或脉冲直流溅射

  • 电子束蒸发热阻蒸发

  • 有机材料蒸发

  • 离子源衬底清洁或辅助沉

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