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Product Center当前位置:首页产品中心薄膜、块体样品制备ALD原子层沉积设备PICOSUN P-300B型原子层沉积系统
原子层沉积系统
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产品分类PICOSUN®P-300B ALD 系统是专为生产 MEMS 设备(例如打印头,传感器和麦克风) 以及各种3D 物品(例如机械零件,玻璃或金属薄板,硬币,手表零件和珠宝,镜片,光学器件以及医疗设备和植入物。
该系统已经成为高产能ALD制造业的新标准。拥有的热壁、独立的前驱体管路和特殊的载气设计,确保我们可以生产出具有优异的成品率、低颗粒水平和的电学和光学性能的高质量ALD薄膜。高效紧凑的设计使得维护更加方便、快捷,限度的减少了系统的维护停工期和使用成本。拥有技术的Picoflow™使得在超高深宽比结构上沉积保形性薄膜更高效,并已在生产线上得到验证。