ALD原子层沉积设备操作全攻略:从开机到关机的详细步骤
2025-03-14
ALD原子层沉积设备是一种用于精确涂层制备的高科技设备。以下是从开机到关机的详细操作步骤:开机前准备检查设备连接:确认水源、气源、电源连接正常,各类管道无泄漏,各气体阀门处于关闭状态。检查真空系统:查看真空泵油位、管路连接及接口密封是否良好。开机操作打开设备总电源开关,启动控制系统,待设备自检完成,各指示灯显示正常。打开工作气体阀门,调节气体流量至设定值,并通过气体质量流量控制器确认流量稳定。启动加热系统,按照工艺要求设定加热温度,等待加热元件和反应腔室升温。打开真空泵,在设...