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▶一键式操作自动完成镀膜全过程
▶极限真空优于5E-3Pa满足大部分场景需求
▶多功能样品台支持旋转、升降及倾斜功能
▶7寸触摸屏，工作参数实时查看
▶配备防污染系统提高样品镀膜效果
▶碳绳用量自定义W型蒸发源结构，碳绳利用率高
主要参数 | |||
主机尺寸 | 278(L)×494(H)×467(D) mm | 显示屏 | 7 英寸触摸屏、全数字显示 |
蒸发源 | 高纯碳纤维（φ0.8mm） | 蒸发源数量 | 4 根 |
蒸发模式 | 闪断模式、脉冲模式 | 工作模式 | 全自动一键式操作 |
预热除气 | 可根据需要设置 | 除气挡板 | 全自动 |
真空泵 | 旋片泵（可选干泵）+分子泵 | 主真空泵抽速 | 90L/s |
真空室 | 170(L)×150(H)×163.5(D) mm 一体加工金属腔室 | 极限真空 | ≤5×10-3Pa |
供电 | AC220V/50Hz | 额定功率 | 800W |
蒸发源状态 | 通电自检，屏幕实时显示蒸发源状态 | ||
预溅射 | 全自动预溅射清洁功能，配合防污染挡板，防止样品污染、提高镀膜纯度 | ||
样品台 | Φ80mm，支持旋转、升降及倾斜功能 | ||
其它 | 真空度、工作电流可实时曲线显示 | ||
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