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台式原子层沉积助力Lam Research--实现区域选择性原子层沉积（AS-ALD）
2026-04-21 随着先进半导体技术的发展对自对准和“自下而上”精准制造的需求愈发迫切,区域选择性原子层沉积(AS-ALD)技术凭借独特优势，受到广泛关注。2025年6月25日,在济州岛的国际ALD/ALE会议上，LamResearch的工程师Rachel.NyedeCastro做了区域选择性沉积（ASD）的报告。报告主要围绕在金属基体上选择性沉积电解质图案，实现从试点生产（小的测试片）到规模化的晶圆沉积。RachelNye的报告中显示，Lam公司试点生产线的前期启动实验采用了AnricTec...
十分钟掌握高压极化仪的安全操作规范
2026-04-20 高压极化仪是压电陶瓷、铁电薄膜和高分子驻极体材料研究中关键的设备。它能够在样品两端施加数千伏甚至上万伏的直流高压，使材料内部的电畴沿电场方向定向排列，从而获得压电效应。然而高压设备伴随着电击、电弧和火灾等潜在风险。掌握安全操作规范不仅是对实验人员自身负责，也是保证设备长期稳定运行的前提。下面用十分钟时间系统学习高压极化仪的九条安全操作规范。第一分钟进行使用前的环境检查。高压极化仪应放置在专用的绝缘实验台上，台面铺设耐高压橡胶垫。设备周围一米范围内不得放置易燃易爆物品，包括有机...
探索热蒸发镀碳仪的工作原理与技术参数
2026-03-20 热蒸发镀碳仪是扫描电子显微镜样品制备中的一种基础且关键的设备，其核心功能是在非导电样品表面沉积一层极薄、均匀的导电碳膜，以消除其在SEM观察中的荷电效应，从而获得清晰、真实的显微图像。尽管原理看似简单，但要获得理想的镀层，其背后涉及一套精密的物理过程与对多个关键技术参数的精准控制。深入理解其工作原理与核心参数，是掌握该技术、制备高质量SEM样品的关键。热蒸发镀碳的工作原理基于真空中的电阻加热蒸发。仪器工作时，首先由机械泵和分子泵组成的真空系统将钟罩内的气压抽至较低水平。高真空...
高频LCR表的精度、速度与稳定性性能分析
2026-03-13 在射频电路设计、元器件验证和生产测试中，高频LCR表是评估电感、电容、电阻等无源元件高频特性的核心工具。其性能优劣直接决定了测量结果的可靠度和测试效率。评估一台高频LCR表，需聚焦于三个既相互关联又时常存在权衡的关键性能维度：精度、速度与稳定性。这三者共同定义了仪器的综合能力，满足不同应用场景的严苛需求。精度是衡量测量结果与真值接近程度的根本指标，是LCR表的灵魂。高频下的测量精度受多重因素挑战。首先是仪器的固有精度，由内部基准源、模拟数字转换器分辨率、自动平衡电桥的平衡能力...
高真空双靶磁控溅射镀膜仪主要由以下系统组成
2026-03-10 高真空双靶磁控溅射镀膜仪是一种集高真空技术与磁控溅射技术于一体的薄膜制备设备，广泛应用于半导体、光学、微电子、新能源材料及科研教学等领域。该设备通过在高真空环境中利用氩离子轰击靶材，使靶材原子溅射并沉积在基片上形成高质量薄膜，具备成膜纯度高、致密性强、附着力好等优点。高真空双靶磁控溅射镀膜仪主要由以下系统组成：‌真空腔体‌：通常采用不锈钢材质，内尺寸常见为直径210mm×高270mm，确保良好的密封性和耐腐蚀性。‌双靶磁控溅射系统‌：配置两个独立靶位(直流/射频可选)，可安装...
行星球磨仪的安全操作规范：过载保护、紧急停机与日常维护
2026-02-09 行星球磨仪是样品粉碎和机械合金化的重要设备，其高速旋转的研磨罐和磨球具有潜在危险，安全操作规范至关重要。行星球磨仪通过公转和自转的复合运动，使磨球对样品产生高能冲击和研磨作用。安全操作规范是使用行星球磨仪的基础。操作前需检查设备是否完好，防护罩是否关闭牢固，紧固螺栓是否松动。装样时需确保研磨罐对称放置，重量平衡，避免运行时产生剧烈振动。设置转速时需从低速开始逐步升高，观察运行是否平稳。运行过程中严禁打开防护罩或触摸旋转部件。操作人员需佩戴防护眼镜，防止样品飞溅。对于易燃易爆样...
高压极化仪的安全操作规范与防护措施详解
2026-02-05 高压极化仪是压电陶瓷材料极化处理的关键设备，其工作电压可达数千伏甚至上万伏，安全操作至关重要。高压极化仪通过高压电源产生直流高压电场，使压电陶瓷中的电畴沿电场方向取向，从而获得压电性能。安全操作规范是使用高压极化仪的首要前提。操作人员需经过专业培训，了解高压电的危险性和防护措施。操作前需检查仪器接地是否良好，高压输出端是否连接正确，样品夹具是否绝缘完好。操作时需佩戴绝缘手套，站在绝缘垫上，避免身体接触高压部分。高压输出端需设置防护罩或隔离栏，防止误触。测试过程中严禁打开防护罩...
显微成像椭偏仪：结合了椭偏技术与光学显微成像技术的高精度仪器
2026-01-26 显微成像椭偏仪是一种将椭偏技术与光学显微成像结合的精密仪器，主要用于在微米尺度上无损测量薄膜的厚度、折射率等光学参数，并能实时可视化样品表面的形貌分布。它适合分析微结构样品，比如集成电路、传感器或二维材料，具有亚纳米级的厚度分辨率和微米级的横向分辨率。显微成像椭偏仪基于椭圆偏振原理，通过分析入射偏振光经样品反射或透射后的偏振态变化，结合光学显微成像技术，获取样品表面的三维形貌分布及薄膜厚度、折射率等光学参数。具体过程如下：光源与偏振控制：光源发出的光经起偏器变为线偏振光，再通...

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