显微成像椭偏仪:结合了椭偏技术与光学显微成像技术的高精度仪器
2026-01-26 显微成像椭偏仪是一种将椭偏技术与光学显微成像结合的精密仪器,主要用于在微米尺度上无损测量薄膜的厚度、折射率等光学参数,并能实时可视化样品表面的形貌分布。它适合分析微结构样品,比如集成电路、传感器或二维材料,具有亚纳米级的厚度分辨率和微米级的横向分辨率。显微成像椭偏仪基于椭圆偏振原理,通过分析入射偏振光经样品反射或透射后的偏振态变化,结合光学显微成像技术,获取样品表面的三维形貌分布及薄膜厚度、折射率等光学参数。具体过程如下:光源与偏振控制:光源发出的光经起偏器变为线偏振光,再通...