膜厚测试千里眼,选区观测1µm - 市面上的高分辨率显微成像椭偏技术
2025-07-17 产品技术简介有别于传统椭偏仪,这是新一代的显微成像椭偏仪技术,它有机地结合了传统光谱椭偏仪和光学显微镜技术,使得我们能够在小至1µm的微结构上以椭偏仪的灵敏度表征薄膜厚度和折射率。显微镜部分能够同时测量光学系统全视场范围内的所有结构。传统的椭偏仪注重于测量整个光斑,而不能实现高精度的横向分辨率,并且需要逐点测量。该设备的显微镜功能使得我们能够获得微观结构的椭偏增强对比图像,在相机的实时图像中可以看到折射率或厚度的微小变化。允许识别椭偏测量的感兴趣区域(选区测量),...