
产品简介
磁控溅射镀膜仪:一键镀膜,全自动操作;7寸触摸屏,工作参数实时查看
▶一键镀膜,全自动操作
▶7寸触摸屏,工作参数实时查看
▶镀膜过程样品无温升适用范围更广
▶抽气效率高2分钟内开始镀膜
▶磁控溅射,薄膜颗粒更小满足
高分辨率看样需求
▶标配旋转样品台薄膜均匀性更好
主要参数 | |||
外形尺寸 | 330(L)×300(H)×370(D) mm | 显示屏 | 7 英寸触摸屏、全数字显示 |
可用靶材 | Au、Pt、Cu、Ag、Pd等 | 靶材尺寸 | Φ50mm,厚度支持0.1-2mm |
工作电流 | 1-50mA可调 | 镀膜时间 | 1-9999s可调 |
真空泵 | 旋片式真空泵(可选干泵) | 真空泵抽速 | 1.1L/s |
真空室 | φ130×100mm 高强度玻璃 | 极限真空 | ≤0.5Pa |
工作介质 | 氩气或氮气(空气) | 工作真空 | 1-20Pa可调 |
供电 | AC220V/50Hz | 额定功率 | 500W |
样品台 | Φ80mm,可放置14个标准样品座,与靶材距离20-45mm可调节,标配旋转样品台 | ||
其它 | 真空度、工作电流可实时曲线显示 | ||