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磁控溅射镀膜仪

产品简介

磁控溅射镀膜仪:一键镀膜,全自动操作;7寸触摸屏,工作参数实时查看

产品型号:INS-11MC
更新时间:2026-01-29
厂商性质:经销商
访问量:55
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INS-11MC


▶一键镀膜,全自动操作

▶7寸触摸屏,工作参数实时查看

▶镀膜过程样品无温升适用范围更广

▶抽气效率高2分钟内开始镀膜

▶磁控溅射,薄膜颗粒更小满足
  高分辨率看样需求

▶标配旋转样品台薄膜均匀性更好


主要参数

外形尺寸

330(L)×300(H)×370(D) mm

显示屏

7 英寸触摸屏、全数字显示

可用靶材

Au、Pt、Cu、Ag、Pd等

靶材尺寸

Φ50mm,厚度支持0.1-2mm

工作电流

1-50mA可调

镀膜时间

1-9999s可调

真空泵

旋片式真空泵(可选干泵)

真空泵抽速

1.1L/s

真空室

φ130×100mm 高强度玻璃

极限真空

≤0.5Pa

工作介质

氩气或氮气(空气)

工作真空

1-20Pa可调

供电

AC220V/50Hz

额定功率

500W

样品台

Φ80mm,可放置14个标准样品座,与靶材距离20-45mm可调节,标配旋转样品台

其它

真空度、工作电流可实时曲线显示



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